日本日立臺式大氣壓掃描電鏡AeroSurf 1500概述

不僅可在真空下，還可在大氣壓下進行SEM觀察

含水樣品也無需前處理即可直接觀察

大氣壓觀察

樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下(105 Pa)

配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時，可對樣品進行電子束照射觀察

而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下(約103～105 Pa)進行觀察

低真空觀察

隔膜可拆卸，還可進行低真空SEM觀察和EDX分析

搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器

日本日立臺式大氣壓掃描電鏡AeroSurf 1500特點

★ 含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進行SEM觀察
★ 從低真空到大氣壓(數(shù) Pa～105 Pa)，可在大范圍壓力下進行SEM觀察
★ 標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
★ 在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進行EDX分析(選配)
★ 主機采用330 mm寬度的小型設(shè)計，實現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
★ 無需等待抽真空時間，快速實現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程